改善上电极板在化学机械研磨工艺中刮伤的方法及设备

摘要

本发明属于化学机械研磨技术领域，涉及改善上电极板在化学机械研磨工艺中刮伤的方法及设备，包括，将晶圆装载在化学机械研磨设备的载入台上，化学机械研磨设备还包括一第一研磨台及至少一第二研磨台，晶圆具有一组件阵列区以及一相对下陷的周边区，一绝缘保护层覆盖组件阵列区及周边区，绝缘保护层对应于组件阵列区的边缘形成有突出角；先利用第一研磨台的第一研磨垫对绝缘保护层进行预研磨，以去除突出角；再利用第二研磨台的第二研磨垫对绝缘保护层进行第一次主研磨，用于去除绝缘保护层在组件阵列区上相对于外围区上的多余厚度。本发明提供的方法及设备能有效减少半导体存储器电容上电极板上的刮伤，有效保证其质量。