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卢茜;
复旦大学;
金属铜; 互连结构; 纳米力学性质; 阻变式随机存储器; 制备工艺;
机译:退火对变阻非易失性存储器NiO薄膜的结构和电特性的影响
机译:基于前体的纳米结构设计及其在未来铜互连中作为单层阻挡层/衬里层的Co(W)合金膜的加工
机译:X射线和电子显微镜研究纳米铜互连结构中的应力诱导现象
机译:化学计量与煅烧条件对溶胶 - 凝胶自动变阻法制备的NiFe_2O_4粉末微观结构和相体积的影响
机译:研究金属结构对镶嵌铜互连中电迁移的影响。
机译:通过单次运行方法打印的纳米粒子墨水直写过程和无裂纹纳米铜互连中的结构继承
机译:铜互连技术中扩散阻挡层的制备及热稳定性研究
机译:基于存储器的结构化专用集成电路(asIC)研究
机译:用于半导体存储器,逻辑电路的铜互连结构,包括暴露与铜层的交互连接结构以还原等离子体并形成氮化硅膜
机译:铜互连结构,半导体器件以及形成铜互连结构的方法
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