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目录
第一章. 绪论
1.1 研究背景
1.2 VO2的晶体结构变化
1.3 VO2相变特性
1.4 VO2薄膜的相变特性
1.5 VO2薄膜的应用以及性能优化
第二章. VO2薄膜的制备及表征
2.1 主要制备方法
2.2 磁控溅射氧化耦合法及其特点
2.3 薄膜制备实验平台
2.4 表征分析
第三章. 厚度对薄膜VO2相变特性的影响研究
3.1实验说明
3.2测试与分析
第四章. 掺杂对薄膜VO2相变特性的影响研究
4.1掺杂改变VO2性能的机理
4.2溅射氧化耦合法掺杂
4.3掺杂氧化钒的测试分析
第五章. 结论
5.1 结论
5.2 展望
参考文献
攻读硕士期间的成果
致谢