声明
第一章 绪论
1.1 引言
1.2 VO2的晶体结构及相变机理
1.3 VO2薄膜的性能及应用
1.4 目前超薄VO2薄膜的制备
1.5 本章小结
第二章 超薄VO2薄膜的制备
2.1 磁控溅射简介
2.2 磁控溅射系统及原理
2.3 溅射金属钒后氧化法制备超薄VO2薄膜
2.4 本章小结
第三章 VO2薄膜的表征和性能分析
3.1 XRD光谱扫描分析
3.2 TEM测量和晶格应力分析
3.3 VO2薄膜的厚度和形貌分析
3.4 VO2薄膜表面成分分析
3.5 超薄VO2薄膜的电学和光学性能
3.6 本章小结
第四章 总结
4.1 论文总结
4.2 展望
参考文献
致谢
攻读学位期间的研究成果
