声明
1 绪论
1.1研究背景
1.2 掺杂金刚石薄膜
1.3 存在的问题
1.4 课题研究的目的、意义及内容
2 理论及实验方法
2.1 相关理论
2.2 VASP软件包
2.3 实验方法
3 硼原子在不同氢终止表面的吸附与迁移行为
3.1 计算方法与计算模型的建立
3.2 硼原子在氢终止表面的吸附行为
3.3 硼原子在具有一个活性位的氢终止表面的吸附与迁移行为
3.4 硼原子在具有两个活性位的氢终止表面的吸附与迁移行为
3.5 硼原子在具有三个活性位的氢终止表面的吸附与迁移行为
3.6 小结
4 MPCVD法制备硼掺杂金刚石薄膜
4.1未掺杂金刚石薄膜的制备与检测
4.2 硼掺杂金刚石薄膜的制备与检测
4.4 小结
5 总结与展望
5.1 总结
5.2 展望
参考文献
索引
在学研究成果
致谢