等离子刻蚀周边工艺与冶金硅太阳电池的漏电

摘要

本文在介绍工业化生产多晶硅太阳电池工艺流程的基础上，着重介绍等离子刻蚀周边工艺以及冶金硅太阳电池的对比实验。刻蚀工艺是制造晶体硅太阳电池的重要环节，刻蚀工艺的好坏直接关系到太阳电池的整体性能，特别是太阳电池的漏电。因此掌握好刻蚀工艺对于制造太阳电池是重要和必要的。
　　冶金硅太阳电池的漏电情况相对于化学法提纯硅的电池更为突出，为提高冶金硅太阳电池的转化效率、降低漏电，进行磷吸杂前过二洗与不过二洗的对比实验。实验结果达到了预期的目的:过二洗的电池片转换效率平均值17.14％，未过二洗的电池片转换效率平均值16.81％;过二洗的电池片Irev1、Irev2平均值分别为0.682A、1.317A，过二洗的电池片Irev1、Irev2平均值分别为0.835A、1.350A。磷吸杂前过二洗的电池片整体性能优于未过二洗的电池片，漏电情况也有明显的改善。实验为优化冶金硅太阳电池生产工艺、改善电池漏电情况提供了一种参考。

目录

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摘要

第一章 引言

1．1 研究背景

1．2 太阳能电池的原理及结构

1．3 太阳能电池的等效电路及主要表征参数

1．4 本论文选题依据及主要内容

第二章 多晶硅太阳能电池的生产工艺流程

2．1 生产工艺流程概述

2．2 多晶硅片的制绒清洗

2．3 扩散制PN结

2．4 刻蚀工艺简介

2．5 洗电池片表面的PSG层

2．6 PECVD法制减反射膜

2．7 丝网印刷工艺

2．8 烧结工艺

2．9 分选测试与检验入库

2．10 本章小结

第三章 等离子刻蚀周边工艺

3．1 刻蚀技术分类

3．2 湿法化学刻蚀工艺简介

3．3 等离子刻蚀周边工艺

3．3．1 等离子刻蚀原理

3．3．2 刻蚀周边工艺

3．3．3 刻蚀后的检测

3．4 本章小结

第四章 冶金硅太阳电池的工艺及漏电研究

4．1 冶金硅太阳电池简介

4．2 磷吸杂前过二洗与不过二洗的对比实验

4．2．1 实验及对比

4．2．2 实验结果的讨论

4．3 本章小结

第五章 结论与展望

参考文献

致谢