等离子刻蚀工艺制备背面钝化局域接触太阳电池

摘要

背面钝化局域接触太阳电池结构具有优良的背表面钝化效果,其电池性能比常规全铝背场太阳电池大大提高,吸引了广泛的研究兴趣.本文主要通过使用等离子刻蚀技术应用在背面钝化局域接触电池的开膜工艺中,制备出不同开膜宽度的等离子刻蚀一一背面钝化局域接触电池,并对电池结构形貌以及性能进行表征,使用表征获取的参数对电池进行了数值模拟,并分析等离子刻蚀技术应用开膜的可行性.