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独创性说明
1绪论
1.1引言
1.2掠入射X射线成像系统
1.2.1 KB结构
1.2.2 Wolter系统
1.3本文选题背景及意义
2 KBA显微镜原理
2.1 KBA显微镜结构
2.2双镜结构的作用
2.2.1单球面反射镜成像特性
2.2.2双镜的成像特性
2.3掠入射角的选取
2.3.1掠入射角对反射率的影响
2.3.2消像散考虑
3 KBA显微镜像差分析
3.1光路计算
3.1.1共轴球面折射系统光路计算
3.1.2 KBA显微镜光路计算
3.2像散
3.3视场倾斜
3.4球差
3.5慧差
4 KBA显微镜成像质量评价
4.1点列图分析
4.2调制传递函数分析
5KBA显微镜系统参数误差分析
5.1KBA显微镜系统参数对成像的影响
5.1.1物距对成像的影响
5.1.2离焦对成像的影响
5.1.3曲率半径对成像质量的影响
5.1.4双镜夹角对成像质量的影响
5.1.5掠入射角对成像的影响
5.2公差
5.3小结
6总结
参考文献
攻读硕士学位期间发表学术论文情况
致 谢
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