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引 言
1溅射沉积技术的发展与应用
1.1溅射现象
1.2典型溅射沉积方法
1.2.1直流溅射
1.2.2射频溅射
1.2.3平衡磁控溅射
1.2.4非平衡磁控溅射
1.3溅射沉积的应用以及沉积铜膜的用途
1.3.1溅射沉积的应用
1.3.2沉积铜膜的用途
1.4本工作的目的意义和研究内容
2辅助磁场约束非平衡磁控溅射放电等离子体的产生装置
2.1设计思想
2.2实验装置及磁场分布
2.2.1实验装置
2.2.2外磁场的选择
2.2.3随空间缓变磁场中粒子受力分析
2.2.4磁场空间分布模拟
2.3本章小结
3用Langmuir探针测量等离子体参数
3.1 Langmuir探针诊断系统介绍
3.1.1 Langmuir探针简单介绍
3.1.2由Langmuir探针得到的I-V特性曲线
3.1.3 Laframboise理论
3.2 Langmuir探针对非平衡磁控溅射等离子体参数测量结果
3.2.1等离子体电位
3.2.2电子温度
3.2.3电子密度和离子密度
3.3本章小结
4非平衡磁控溅射原子发射光谱研究
4.1原子发射光谱介绍
4.1.1原子发射光谱发展
4.1.2发射光谱概述
4.1.3光谱谱线的分析
4.2非平衡磁控溅射等离子体发射光谱测量
4.3本章小结
结论与展望
1结论
2展望
参考文献
攻读硕士学位期间发表学术论文情况
致 谢