声明
摘要
1 绪论
1.1 课题背景
1.2 SiC的结构
1.2.1 SiC的晶体结构
1.2.2 SiC的非晶态结构
1.3 SiC的性能及应用
1.4 磁控溅射制备SiC薄膜的研究现状
1.5 本论文的研究内容
2 薄膜的制备与表征方法
2.1 磁控溅射镀膜原理
2.2 MW-ECR等离子体非平衡磁控溅射系统
2.2.1 微波电子回旋共振等离子体源的原理及特点
2.2.2 MW-ECR等离子体非平衡磁控溅射装置
2.3 (富硅)SiC薄膜的制备流程
2.3.1 实验前的准备
2.3.2 实验过程
2.4 薄膜的测试与表征方法
2.4.1 台阶仪
2.4.2 傅里叶变换红外吸收光谱
2.4.3 X射线光电子能谱
2.4.4 纳米硬度仪
3 利用单晶硅靶和石墨靶制备富硅SiC薄膜
3.1 室温无偏压条件下溅射功率对SiC薄膜的影响
3.1.1 Si靶溅射功率对SiC薄膜的化学结构的影响
3.1.2 C靶溅射功率对SiC薄膜的化学结构的影响
3.1.3 室温无偏压条件下薄膜的XPS分析
3.2 沉积温度对富硅SiC薄膜的影响
3.2.1 沉积温度对富硅SiC薄膜的沉积速率的影响
3.2.2 沉积温度对富硅SiC薄膜的化学结构的影响
3,2.3 不同沉积温度下的薄膜的化学成分
3.3 沉积偏压对富硅SiC薄膜的影响
3.3.1 沉积偏压对薄膜沉积速率的影响
3.3.2 沉积偏压对薄膜化学结构的影响
3.3.3 不同沉积偏压下的薄膜化学成分
3.4 真空退火对富硅SiC薄膜的影响
3.4.1 退火温度对富硅SiC薄膜的化学结构的影响
3.4.2 退火温度对富硅SiC薄膜的硬度的影响
3.5 本章小结
4 富硅SiC薄膜和SiC薄膜的高温抗氧化性
4.1 SiC薄膜的制备
4.1.1 溅射功率对SiC薄膜的沉积速率的影响
4.1.2 溅射功率对SiC薄膜的化学结构的影响
4.2 富硅SiC及SiC薄膜的高温抗氧化性
4.2.1 红外分析
4.2.2 硬度分析
4.3 沉积偏压及沉积温度对富硅SiC薄膜的高温抗氧化性的影响
4.3.1 基底温度及基底偏压对富硅SiC薄膜的FT-IR分析
4.4 本章小结
结论
参考文献
攻读硕士学位期间发表学术论文情况
致谢