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声明
第一章绪论
1.1射频微电子机械系统(RF MEMS)
1.2 RF MEMS开关
1.3 RF MEMS开关的可靠性
1.4小结及本论文的主要工作
第二章RF MEMS开关的原理和设计参数分析
2.1 RF MEMS开关的结构和工作原理
2.2静电执行RF MEMS开关的设计参数
2.3静电执行RF MEMS开关的低频参数
2.4静电执行电容式RF MEMS开关的射频参数
2.5 小结
第三章RF MEMS开关的功率处理能力研究
3.1 RF MEMS开关的功率处理能力
3.2静电执行电容式开关的自执行的研究
3.3静电执行电容式开关的自锁的研究
3.4阻尼对开关功率处理能力的影响
3.5开关结构参数对功率处理能力的影响
3.6结论
第四章RF MEMS开关的功率处理能力的提高
4.1功率处理能力的瓶颈及处理办法
4.2提高功率处理能力的MEMS开关的改进结构
4.3新型开关的功率处理能力
4.4总结
第五章总结与展望
5.1本论文工作的主要内容
5.2对进一步工作的展望
致谢
参考文献
图表索引
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