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摘要
第一章 绪论
1．1 引言
1．2 课题研究背景及意义
1．3 硅微谐振式加速度计国内外研究动态
1．3．1 国外研究动态
1．3．2 国内研究动态
1．4 硅微谐振式加速度计测控电路研究进展
1．4．1 国外研究动态
1．4．2 国内研究动态
1．5 课题来源
1．6 本课题研究的主要内容
第二章 硅微谐振式加速度计的基本理论分析
2．1 硅微谐振式加速度计结构原理
2．2 动力学模型分析
2．3 静电驱动原理
2．3．1 平板电容静电力产生原理
2．3．2 静电驱动
2．4 闭环控制电路
2．4．1 锁相环相位控制原理
2．4．2 环路起振原理
2．4．3 驱动回路自动增益控制
2．5 本章小结
第三章 硅微谐振式加速度计接口检测电路技术研究
3．1 接口电路的信号检测方式
3．1．1 信号单边检测方式
3．1．2 信号双边检测方式
3．1．3 耦合电容对信号检测的影响
3．2 信号检测电路分析
3．2．1 模拟开关电容检测电路
3．2．2 环形二极管检测电路
3．2．3 寄生电容对环形二极管检测电路的影响
3．3 接口检测电路的优化
3．3．1 环形二极管电路的优化
3．3．2 仪表放大电路的优化
3．4 本章小结
第四章 硅微谐振式加速度计测控电路二次电源技术研究
4．1 稳压电源原理
4．1．1 开关稳压电源
4．1．2 线性稳压电源
4．2 二次电源模块的线性稳压电源设计
4．2．1 正5V电源电路设计
4．2．2 负5V电源电路设计
4．3 二次电源模块滤波电路的设计
4．3．1 前置滤波电路设计
4．3．2 后置滤波电路设计
4．4 二次电源测试结果
4．5 本章小结
第五章 硅微谐振式加速度计测控电路噪声研究
5．1 机械热噪声分析
5．2 电噪声
5．2．1 热噪声分析
5．2．2 散粒噪声分析
5．2．3 闪烁噪声分析
5．2．4 基本噪声模型
5．3 接口电路噪声分析
5．4 锁相环回路噪声研究
5．4．1 相位噪声
5．4．2 锁相环噪声传输模型
5．5 本章小结
第六章 硅微谐振式加速度计系统性能测试与分析
6．1 测试电路与测试环境
6．1．1 测试电路
6．1．2 测试设备
6．1．3 测试环境条件
6．2 硅微谐振式加速度计原理样机系统性能测试
6．2．1 标度因数测试
6．2．2 偏值测试
6．2．3 温度性能试验
6．3 本章小结
第七章 总结与展望
7．1 全文总结
7．2 未来工作展望
致谢
参考文献
作者简介
