脉冲激光沉积法制备纳米功能薄膜的形膜条件及其性能研究

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全文安排如下:第一章介绍了实验装置和实验方法,对脉冲激光沉积纳米薄膜技术作了简要的概述,同时对纳米金刚石薄膜的研制条件、表征和生长机理作了阐述.第二章主要研究了薄膜的生长参数对薄膜生长的影响,并侧重于制备时衬底温度的变化影响情况,从理论上做出了一定的分析.并从表面形貌分析、X射线衍射、Raman散射光谱等多方面阐述了薄膜的生长特征.第三章着重于分析氧气在PLD系统中的热力学作用,并与CVD生长方法中氢气的作用做了比较.第四章主要研究了纳米薄膜的力学性能和红外光学增透性能.

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作者
欧阳钢;
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作者单位

湘潭大学;

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授予单位湘潭大学;
学科凝聚态物理
授予学位硕士
导师姓名郭建,颜晓红;
年度 2004
页码
总页数
原文格式 PDF
正文语种中文
中图分类薄膜的生长、结构和外延;
关键词
脉冲激光沉积技术; 纳米金刚石薄膜; 类金刚石薄膜; 薄膜生长; 力学性能; 红外增透性能;

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