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第1章 绪论
1.1铁电材料和铁电存储器
1.2 铁电场效应晶体管(FeFET)
1.3残余应力的作用
1.4界面效应的影响
1.5 本文的选题依据及主要内容
第2章 FeFET相场模型的基本建立
2.1 FeFET的相场模型
2.2 铁电畴的模拟
2.3 残余应力对铁电薄膜的影响
2.4本章小结
第3章 残余应力对FeFET电学性能的影响
3.1 FeFET的器件方程
3.2 残余应力对FeFET中薄膜铁电性的影响
3.3 残余压应力对FeFET电学性能的影响
3.4 残余拉应力对FeFET电学性能的影响
3.5 本章小结
第4章 界面效应对FeFET电学性能的影响
4.1电场对FeFET电学性能的影响
4.2 界面电场对FeFET电学性能的影响
4.3 界面应变对FeFET电学性能的影响
4.4 本章小结
第5章 总结与展望
5.1 论文总结
5.2 论文展望
参考文献
致谢
个人简历及成果发表情况