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第一章绪论
§1.1引言
§1.2等离子体输运过程的研究现状
§1.3薄膜生长过程的研究现状
§1.4影响薄膜生长的各种因素
第二章近表面磁等离子体输运的实验和理论研究
§2.1引言
§2.2弱磁场等离子体输运的模型
§2.3磁场中等离子体输运
§2.4等离子体中离子能量的测量
§2.5等离子体参数的探针诊断
§2.6小结
第三章等离子体中电子输运对薄膜沉积过程中近表面活性粒子分布影响的实验和理论研究
§3.1引言
§3.2实验结果
§3.3理论模型
§3.4小结
第四章薄膜生长的理论模型
§4.1引言
§4.2理想表面上的薄膜生长模型
§4.3含有缺陷点等离子体表面上的薄膜生长
§4.4沉积粒子的能量对薄膜生长的影响
§4.5沉积完成后的“热处理”
§4.6模型中所用的参数
第五章理想表面上的薄膜生长
§5.1引言
§5.2低温条件下的薄膜生长
§5.3高温条件下的薄膜生长
§5.4不同条件下岛总数的变化
§5.5薄膜生长过程中分形维数的变化
§5.6吸附粒子在基底表面的扩散系数
§5.7小结
第六章沉积粒子能量(或低能离子照射)对薄膜生长初期形貌的影响
§6.1引言
§6.2低温时沉积籽子能量对薄膜形貌的影响
§6.3高温时沉积粒能量对薄膜生长的影响
§6.4沉积粒子能量对岛总数的影响
§6.5沉积粒子的能量对分形维数的影响
§6.6小结
第七章含有缺陷的基底表面上的薄膜生长
§7.1引言
§7.2基底表面温度对薄膜生长的影响
§7.3岛的尺寸变化
§7.4岛的分形维数变化
§7.5基底表面形貌对薄膜生长的影响
§7.6吸附粒子的表面扩散系数
§7.7表面台阶对薄膜生长的影响
§7.8小结
第八章沉积粒子的能量对非理想表面上薄膜生长初期形貌的影响
§8.1引言
§8.2低温条件下沉积粒子能量的影响
§8.3高温时沉积粒子的能量对薄膜生长的影响
§8.4沉积粒子能量对其它一些参数的影响
§8.5小结
第九章等离子体化学气相沉积过程中薄膜生长初期形貌SEM研究
§9.1引言
§9.2实验
§9.3小结
全文总结
致谢
攻读博士学位期间发表的论文
参考文献
