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目录
1 绪论
1.1 课题来源
1.2 课题背景、目的及意义
1.3 国内外研究现状
1.4本文主要研究内容
2 解耦并联调平机构控制系统设计
2.1 高密度倒装键合设备介绍
2.2 解耦并联调平机构驱动形式和执行器分析
2.3 解耦并联调平机构控制系统设计
2.4 本章小结
3 解耦并联调平机构运动学建模与仿真
3.1 解耦并联调平机构运动学分析
3.2 基于Adams解耦并联调平机构运动学验证
3.3 本章小结
4 解耦并联调平机构控制器设计与仿真
4.1 音圈电机的数学模型
4.2 解耦并联调平机构的位置环控制器设计
4.3 基于运动学模型的复合控制器设计与仿真
4.4 本章小结
5 解耦并联调平机构控制系统实验验证
5.1 高密度倒装键合实验平台简介
5.2 复合控制算法的实验与分析
5.3 基于复合控制器调平机构的精度实验
5.4 本章小结
6 总结与展望
6.1 全文总结
6.2 展望未来
致谢
参考文献
附录1 攻读学位期间取得成果目录