静电放电对集成电路危害的防护研究

摘要

本文基于电子制造企业的实际工作环境,系统地分析了人体模型、机器模型、物体带电模型静电放电的原理及对集成电路的损伤，研究了静电放电对集成电路损伤的防护方案，主要工作如下：
　　分析了人体模型、机器模型、物体带电模型静电放电对集成电路造成的损伤。通过分析人体模型、机器模型、物体带电模型静电放电的原理，建立和求解了静电放电的模型方程，设计了人体模型、机器模型、物体带电模型静电放电的等效电路，仿真了人体模型、机器模型、物体带电模型静电放电的电流波形。
　　设计了静电放电实验，研究了静电放电危害的影响因素和静电放电导致集成电路失效的位置和损伤特征。设计了人体模型静电放电对产品的静电放电实验来分析静电放电防护系统、温度、湿度对静电放电危害的影响；设计了人体模型、机器模型、物体带电模型静电放电对集成电路的静电放电实验来分析和研究人体模型、机器模型、物体带电模型静电放电导致集成电路失效的位置和损伤特征。
　　设计了静电放电对集成电路危害的防护策略，制定了静电放电控制方案的基本步骤，给出了集成电路静电放电防护的一般工艺要求，改进了西迪斯公司的静电放电防护体系，提高了公司产品的合格率和可靠性，减少了集成电路的损耗，降低了公司的制造成本。

目录

静电放电对集成电路危害的防护研究硕士研究生：曾良军导 师：王 毅 副教授副 导 师：轩秀明 高级工程师申请 学位：工程硕士学科、专业：电气工程所在单位：西迪斯(天津)电子有限公司答辩日期：2008年9月授予学位单位：哈尔滨工业大学

PROTECTION RESEARCH FOR ELECTROSTATIC DISCHARGE DAMAGE TO INTEGRATED CIRCUIT

摘 要

Abstract

目 录

第1章 绪论

1.1 研究背景

1.2 论文的目的和意义

1.3 国内外对静电防护的研究现状

1.4 本文研究内容和主要工作

第2章 静电放电分析

2.1 静电放电模型方程

2.2 静电放电模型方程的数值求解

2.3 人体模型的静电放电

2.4 机器模型的静电放电

2.5 带电器件模型的静电放电

2.6 本章小结

第3章 静电放电测试实验

3.1 产品静电放电测试实验

3.2 元器件静电放电测试实验

3.3 本章小结

第4章 实验结果分析

4.1 静电损伤的分析

4.2 三种模型的实验测试结果及分析

4.3 实验测试总结

4.4 本章小结

第5章 集成电路的静电放电保护

5.1 防护策略

5.2 静电放电控制方案的基本步骤

5.3 集成电路防静电的一般工艺要求

5.4 改进的静电放电防护体系

5.5 本章小结

结 论

参考文献

攻读学位期间发表的学术论文

哈尔滨工业大学硕士学位论文原创性声明

哈尔滨工业大学硕士学位论文使用授权书

致 谢

个人简历