引线键合铜球可变形性在线测量及Cu/Al界面反应研究
ON-LINE MEASUREMENT OF CU FAB DEFORMABILITY IN THERMOSONIC WIRE BONDING AND INTERFACIAL REACTION STUDY OF CU/AL
摘 要
Abstract
Contents
第1章 绪论
1.1 选题意义
1.2 微电子封装互连技术简介
1.3 丝球焊技术研究现状
1.3.1金丝球焊和铝丝球焊技术研究现状
1.3.2铜丝球焊技术研究现状
1.4本文研究内容
第2章 铜球可变形性在线测量方法
2.1引言
2.2在线测量方法的建立
2.3在线测量方法影响因素考察
2.3.1金属丝、基板、测量温度和劈刀的选择
2.3.2键合工艺参数和变形压力的选择
2.3.3变形速率的确定
2.3.4基板温度、基板类型以及键合工具对在线测量的影响
2.3.5无金属丝或金属球在线测量
2.4在线测量方法的应用
2.5本章小结
第3章 烧球电流对铜球可变形性及HAZ最大拉伸载荷的影响
3.1引言
3.2实验准备
3.3可变形性测量方法改进及HAZ拉伸载荷在线测量方法
3.3.1可变形性在线测量方法的改进
3.3.2 HAZ拉伸载荷在线测量方法
3.4烧球电流对铜球可变形性的影响
3.5烧球电流对HAZ最大拉伸载荷的影响
3.6烧球电流对HAZ长度的影响
3.7本章小结
第4章 铜丝烧球工艺参数优化及铜球凝固过程温度场分析
4.1引言
4.2实验材料和方法
4.3烧球工艺参数对铜球质量的影响
4.3.1烧球电流
4.3.2铜球直径设定值
4.3.3打火杆与尾丝距离
4.3.4保护气体流量
4.4铜球凝固过程分析
4.4.1铜球内部组织分析
4.4.2铜球凝固过程数值分析
4.4.3铜球键合点内部组织分析
4.5本章小结
第5章 250 °C老化条件下Cu/Al界面金属间化合物生长行为及裂纹扩展
5.1引言
5.2实验材料和方法
5.3Cu/Al IMC及裂纹生长机理
5.3.1Cu/Al IMC和裂纹生长演变过程
5.3.2 Cu/Al IMC和裂纹生长速度
5.3.3 Cu/Al?IMC层相分析
5.3.4 Cu/Al?IMC层及裂纹生长机理分析
5.4本章小结
参考文献
哈尔滨工业大学博士学位论文原创性声明
哈尔滨工业大学博士学位论文使用授权书
致谢