具有择优取向的多晶铁电薄膜的力学性能研究
STUDY OF MECHANICAL PROPERTIES OF POLYSCRYSTALLINE FERROELECTRIC FILM WITH PREFERRED ORIENTATION
摘要
Abstract
第1章 绪论
1.1 课题背景及研究的目的和意义
1.2 多晶铁电薄膜材料弹性性能研究
1.3 铁电薄膜材料残余应力研究现状
1.4 薄膜材料断裂问题的研究进展
1.5 本文主要研究内容
第2章 多晶薄膜材料的有效弹性性能
2.1 引言
2.2 多晶薄膜参考坐标系及取向平均
2.3 理论模型
2.4 数值计算与讨论
2.5 本章小节
第3章 铁电多晶薄膜弹性性能的实验研究
3.1 引言
3.2 铁电材料制备
3.3 铁电薄膜晶体结构及微观结构表征
3.4 压痕模量及硬度的实验研究
3.5 本章小结
第4章 多晶铁电薄膜残余应力研究
4.1 引言
4.2 随机取向铁电薄膜残余应力的衍射分析
4.3 理想织构铁电薄膜残余应力的衍射分析
4.4 考虑织构弥散的铁电薄膜的衍射分析
4.5 溶胶凝胶制备的PZT 薄膜残余应力分析
4.6 磁控溅射制备的PLT 薄膜残余应力分析
4.7 本章小节
第5章 多晶铁电薄膜的破坏分析
5.1 引言
5.2 多晶铁电薄膜大载荷压痕的实验研究
5.3 有限元模拟压痕过程
5.4 本章小结
结论
参考文献
攻读学位期间发表的学术论文及其它成果
哈尔滨工业大学博士学位论文原创性声明
哈尔滨工业大学博士学位论文使用授权书
致谢
个人简历