基于红外技术的薄膜厚度在线测量系统研究
RESEARCH ON INFRARED TECHNOLOGY BASED FILM THICKNESS ONLINE MEASURE SYSTEM
摘要
Abstract
目 录
第1章 绪论
1.1 课题来源
1.2 课题背景、意义
1.3 国内外现状综述
1.4 主要研究内容
第2章 红外测厚的原理研究
2.1 薄膜光谱分析
2.2 红外测厚原理
2.3 本章小结
第3章 基于红外技术的薄膜厚度在线测量系统方案设计
3.1 基于红外技术的薄膜测厚系统总体设计原理
3.2 信号检测部分方案设计
3.3 基于红外技术的薄膜测厚系统总体方案设计
3.4 基于红外技术的薄膜测厚系统整体实现
3.5 本章小结
第4章 基于红外技术的薄膜厚度在线测量系统硬件设计与实现
4.1 模拟信号电路设计
4.2 AD 模块部分设计
4.3 人机界面部分设计
4.4 电平转换模块设计
4.5 DSP 主控模块硬件设计
4.6 本章小结
第5章 基于红外技术的薄膜厚度在线测量系统软件设计与实现
5.1 DSP 软件开发平台简介
5.2 基于红外技术的薄膜测厚系统主程序设计
5.3 数据归一化处理
5.4 本章小结
结 论
参考文献
攻读学位期间发表的学术论文
哈尔滨工业大学学位论文原创性声明及使用授权说明
致 谢