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目录
第1章 绪 论
1.1 课题背景及研究的目的和意义
1.1.1 课题的来源
1.1.2 课题研究的目的和意义
1.2 低温等离子体源简介
1.2.1电子回旋共振等离子体源(Electron Cyclotron Resonance, ECR)
1.2.2螺旋波等离子体源(Helicon-Wave Plasma,HWP)
1.2.3射频容性耦合等离子体源(Capatively Coupled Plasma,CCP)
1.2.4射频感应耦合等离子体源(Inductively Coupled Plasma, ICP)
1.3 目前感应耦合等离子源的研究热点
1.3.1 感应耦合等离子体的发生装置
1.3.2 E-H模式转换与回滞现象
1.3.3 静电耦合效应
1.3.4 射频感应耦合等离子体源基本原理和电路模型的研究
1.3.5 趋肤效应和反常趋肤效应
1.3.6 感应耦合等离子体在工业领域中的应用
1.4 本文的主要研究内容
第2章 实验平台的搭建和等离子体诊断技术
2.1 实验平台的搭建
2.1.1 真空放电系统
2.1.2 机械泵组与气路系统
2.1.3 电气系统
2.1.4 水冷系统
2.1.5 等离子体诊断系统
2.2 Langmuir探针诊断技术
2.2.1 Langmuir探针简介
2.2.2 Langmuir单探针的基本原理
2.2.3 Langmuir双探针的基本原理
2.3 原子发射光谱诊断技术
2.3.1 原子发射光谱产生的机制
2.3.2 原子发射光谱分析理论基础
2.4 本章小结
第3章 E-H模式转换及回滞现象的实验研究
3.1 实验的设置
3.2 模式转换与回滞现象的探针诊断
3.2.1 电子密度的变化特征与分析
3.2.2 电子温度的变化特征与分析
3.3 模式转换与回滞现象的光谱诊断
3.4 本章小节
第4章 感应耦合等离子体的探针及光谱诊断
4.1 感应耦合等离子体的探针诊断
4.1.1 气压对等离子体参数的影响
4.1.2 功率对等离子体参数的影响
4.1.3 空间分辨
4.2 感应耦合等离子体的光谱诊断
4.3 本章小节
结论
参考文献
攻读硕士学位期间发表的论文及其它成果
声明
致谢