公开/公告号CN105408984B
专利类型发明专利
公开/公告日2019-12-10
原文格式PDF
申请/专利权人 应用材料公司;
申请/专利号CN201580001473.6
发明设计人 A·恩古耶;Y·萨罗德维舍瓦纳斯;T·K·赵;
申请日2015-01-08
分类号
代理机构上海专利商标事务所有限公司;
代理人姬利永
地址 美国加利福尼亚州
入库时间 2022-08-23 10:44:52
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-12-10
授权
授权
2017-03-08
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/02 申请日:20150108
实质审查的生效
2017-03-08
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/02 申请日:20150108
实质审查的生效
2016-03-16
公开
公开
2016-03-16
公开
公开
机译: 内联DPS腔体硬件设计可启用轴对称性,以提高流量传导性和均匀性
机译: 内联DPS腔体硬件设计可启用轴对称性,以提高流量传导性和均匀性
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