TFT-LCD光刻工艺有机物危害分析及控制措施研究

摘要

依据中国青年报社会调查中心对2062人进行的“2015年最想购买的东西”调查显示，想购买电子产品的受访者占比为41.4％，购买电子产品已成为现代社会人们的刚性需求，电子产品及其相关服务正在成为新的消费增长点。目前，我国是世界上第一大电子产品消费国，同时也是世界电子产品的制造大国，进入21世纪以来，我国在电子制造相关行业取得了一系列重大技术突破，成为全球最大的电子产品制造基地。
　　在薄膜晶体管液晶显示器件（TFT-LCD）制造行业中，随着新工厂的不断开工建设和已建工厂生产的稳定运行，行业内开始暴露出诸多新的安全和职业健康问题。其中，尤为突出的是光刻工艺中大量使用的有机物异味问题，这些有机物极易挥发，嗅阈值极低，且主要成分在相应的职业卫生国家标准中没有规定接触限值，甚至没有国家标准规定的检测方法。多种有机物混合挥发难以界定联合危害效应，这使得不少员工开始担忧这些有机物对自身的健康影响，同时也为行业内的职业健康安全管理人员甚至是工厂领导带来了不少的困扰和压力。
　　本文通过对国内某薄膜晶体管液晶显示器件（TFT-LCD）制造企业的有机物暴露较为严重的工艺段进行分析，评估这些有机物的成分，对其危害来源、危害性质进行分析；通过检测方法确定有机物暴露的重点分布区域，找到重点管控设备；结合洁净车间通风的特殊性、工艺流程联通的特点，对工艺中有机物异味产生源进行综合评估；通过其扩散情况制定控制措施，实现作业现场改善的目标。

目录

声明

第1章 绪论

1.1 论文的研究背景

1.2 国内外研究现状

1.3 研究目标及内容

第2章 术语及工艺说明

2.1 术语

2.2 TFT-LCD工艺过程

2.3 研究对象及工艺流程

2.4 研究对象相关主要设备

第3章 光致抗蚀剂分析

3.1 光致抗蚀剂成分分析

3.2 单一组分职业病危害风险分析

3.3 挥发性混合物危害分析

第4章 现场检测及扩散情况

4.1 检测情况说明

4.2 检测计划

4.3 检测结果

4.4 检测结果分析

第5章 控制措施

5.1 源头控制

5.2 工艺控制

5.3 挥发性有机废气的末端治理

第6章 结论与展望

致谢

参考文献