Dept. of Electron. Eng., Nat. Chiao Tung Univ., Hsinchu, Taiwan;
chemical mechanical polishing; coupled circuits; crosstalk; electroplating; filler metals; surface topography; ECP-aware metal fill; chip surface topography; copper CMP; coupling capacitances; coupling noise problems; coupling-aware metal fill; crosstalk noise problems; density-driven metal fill; floating dummy metals; layout uniformity;
机译:铜CMP工艺的电气特性和金属布局规则的推导
机译:铜CMP工艺的电气特性和金属布局规则的推导
机译:铜/低k金属化的新工艺技术-无磨铜CMP(AFP)和新的低k材料:甲基硅碳氧化物(MTES)
机译:耦合和ECP感知金属填充,用于提高铜CMP中的布局均匀性
机译:CMP过程中的磨料颗粒轨迹和材料去除不均匀性以及CMP浆料的过滤特性-模拟和实验研究。
机译:用于激光辅助选择性金属化的铜填充聚(丙烯腈-共-丁二烯-苯乙烯)复合材料
机译:基于模型的布局图案相关金属填充算法,可改善铜工艺中芯片表面的均匀性
机译:一些有机磷萃取剂(HHDECmp(己基,己基-N,N-二乙基氨基甲酰基甲基次膦酸盐); DHDECmpO(二己基-N,N-二乙基氨基甲酰基甲基膦氧化物))萃取金属溶剂的动力学和机理