Department of Electrical Engineering, Stanford University, USA;
surface micromachined injector; integrated pressure sensor; interferometric deflection read-out;
机译:使用集成在微机械探针中的磁阻传感器测量大脑活动
机译:具有在大气压力下运行的集成谐振器的微机械压力传感器
机译:注射率对使用在线和针尖传感器测量的注射压力分布的影响:体外研究
机译:微机械的空心针具有集成压力传感器,用于精确,校准注射到细胞和胚胎中
机译:超声批量模式微加工及其在细针穿刺活检的压电传感器中的应用。
机译:具有在大气压下工作的集成谐振器的微机械压力传感器
机译:一种微机械压力传感器,带有在大气压下工作的集成谐振器
机译:集成光学微机械压力传感器,具有光谱编码输出和温度补偿