Center for Integrated Systems, Stanford University, Stanford, CA, 94305;
机译:重掺杂磷的外延硅膜的化学键合状态和掺杂剂的重新分布:毫秒激光退火和掺杂浓度的影响
机译:MuGFET中的硅碳源极/漏极的脉冲激光退火,以增强掺杂剂激活和高取代碳浓度
机译:激光退火聚焦离子束制备的纳米级P-n结的定量掺杂分析
机译:硅中高浓度停用的研究,激光退火掺杂剂型材
机译:硅结构的脉冲激光退火,用于结晶和掺杂剂激活。
机译:室温下非接触式无损确定硅晶圆中局部硼扩散区的掺杂剂分布
机译:磷掺杂剂扩散,活化和退火。使用红外激光器合成N型硅薄膜