Institute of Material Research and Engineering, 3 Research Link, Singapore 117602;
机译:无损快速评估沉积在多孔低k电介质上的PVD扩散势垒
机译:一种新型的基于甲烷的低损伤甲烷等离子体化学方法(CH_4 / Ar):限制金属阻挡层向多孔低k材料中的扩散
机译:孔隙率对低K介电材料上锰基铜扩散阻挡层形成的影响
机译:PVD TAN和ALD WN_XC_Y铜扩散屏障对多孔CVD低k材料的表征
机译:通过化学气相沉积技术沉积的氮化钽薄膜的铜扩散阻挡性能。
机译:多孔氮化硼材料:结构,化学和稳定性对有机物吸附的影响
机译:由溶液沉积在层状材料上的双分子多孔超分子网络:石墨,氮化硼和二硫化钼