Brigham Young University, Provo, UT;
MEMS; force sensing; integrated sensing; piezoresistance; sensing;
机译:基于MetalMUMPs的压阻应变传感器,用于集成片上传感器融合
机译:具有集成压阻传感器和热双压电晶片执行器的微机械原子力显微镜传感器,用于高本征模式下的高速攻丝模式原子力显微镜相位成像
机译:具有片上集成的封装应力抑制悬挂(PS〜3)技术的封装友好型压阻压力传感器
机译:压阻式在线综合力传感器,用于片上测量和控制
机译:使用主轴集成力传感器系统测量铣削中的高频带宽切削力。
机译:使用集成了PVDF薄膜传感器的工作台测量铣削过程中的切削力
机译:多峰电容和压阻传感器,用于同时测量多个力