Oak Ridge National Laboratory, Oak Ridge, Tennessee, USA 37831 USA;
spatial heterodyned interferometry; holography; inspection; metrology; MEMS;
机译:使用微机电系统镜和f-theta透镜的高速扫描光纤外差干涉仪
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机译:光学外差干涉法在外部扰动双折射单模光纤中传输的波动光波的相关处理
机译:光学空间异相干涉技术在半导体检查和计量中的应用
机译:相关玻色子场的量子干涉:散粒噪声以下的同质和外差光学干涉仪。
机译:两色外差激光干涉仪用于长距离级测量并校正了测得的光学距离中的不确定性
机译:用于半导体检测和计量的光学空间外差干涉测量法