机译:使用微机电系统镜和f-theta透镜的高速扫描光纤外差干涉仪
f-theta lens; heterodyne interferometer; MEMS mirror; optical scanning;
机译:使用微机电系统镜和f-theta透镜的高速扫描光纤外差干涉仪
机译:高速扫描外差光学干涉仪测量埃范围的光程
机译:用于生物医学系统的f-theta镜头设计:激光扫描微阵列读取器
机译:MEMS反射镜和F-theta透镜组合在全光纤耦合红外外差干涉测量中应用的特性研究
机译:通过瞬时载波测量来扩展外差光纤干涉仪的动态范围。
机译:基于高速高分辨率外差式干涉仪误差模型的高稳定激光源设计
机译:扫描外差激光干涉仪,用于表面振动的相敏绝对振幅测量
机译:用于高能激光系统的高速扫描旋转反射镜