微发光二极管发光检查装置及用于该装置的光学滤波器的检查装置以及编入在制造工艺的使用该装置的微发光二极管发光检查方法

摘要

本发明的微LED发光检查装置对以0.1mm以下的点间距在晶圆上形成多个的微LED进行品质检查，所述微LED发光检查装置局部包含供电机构、光学透镜、摄像装置、数字图像处理装置、光学滤波器、滤波器驱动机构及控制装置等构造，且使用如下光学滤波器，通过无光学滤波器/有光学滤波器这两种光强度的测定控制，微LED的发光波长也能以相差较大的检查时间高速地决定，所述光学滤波器是通过数字图像处理装置自动地从拍摄图像中发现并特定出作为测定对象的各个微LED，总括测定从画面帧图像产生的微LED的光强度，在规定的光波长带中滤波器透过光强度单调递增或单调递减。