Graduate School of Information Science and Electrical Engineering, Kyushu University, 744 Motooka, Nishi-ku, Fukuoka 819-0395, Japan;
Graduate School of Medicine, Kyushu University, 3-1-1 Maidashi, Higashi-ku, Fukuoka 812-8582, Japan;
extreme ultraviolet; laser-produced plasma; debris; fast ions; sputtering; laser-induced fluorescence;
机译:带有液滴靶的激光产生的锡等离子体碎屑的EUV光源成像诊断
机译:Euv平版印刷光源激光产生的锡等离子体的碎片动力学研究
机译:用于HVM EUV光刻的激光生产的基于锡等离子体的EUV光源技术的开发
机译:激光制造锡等离子体的激光成像诊断用于EUV光源的激光产生的锡等离子体
机译:在放电产生的EUV等离子体源中通过反应离子蚀刻清洁锡屑。
机译:极紫外光刻光源的激光产生的锡等离子体的电子密度和温度的时间分辨二维分布
机译:CO 2 sub>激光产生等离子体光学光刻的EUV光源的研制