KLA-Tencor Corp., 160 Rio Robles, San Jose, CA, USA 95134-1809;
KLA-Tencor Japan, YBP East Tower 7F, 134 Godo-cho, Hodogaya-ku, Yokohama-city, Kanagawa 240-0005 Japan;
KLA-Tencor Germany, Moritzburger Weg 67, D-01109 Dresden, Germany;
Toppan Printing Co., L;
ArF; 45nm; 32nm; reticle; defect; inspection; sensitivity; OPC; SRAF;
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