Department of Mechanical Engineering, McGill University, Montreal, QC, H3A 2K6, Canada;
Department of Mechanical Engineering, McGill University, Montreal, QC, H3A 2K6, Canada;
Department of Mechanical Engineering, McGill University, Montreal, QC, H3A 2K6, Canada;
机译:通过电子束光刻技术对嵌段共聚物自组装纳米结构的直接图案化
机译:使用软电子束光刻技术(soft-eBL)在易碎基板上定向制备陶瓷纳米结构
机译:电子束光刻结合等离子刻蚀对氧化钛纳米结构进行构图
机译:用电子束光刻脆弱的微机械结构图案化纳米材料
机译:由电子束光刻制造的均匀纳米表面施加的脂质域像素化图案。
机译:海藻糖糖醇抗性可通过电子束光刻直接写入蛋白质图案
机译:磁性和铁电氧化物的0-和1-D纳米结构的软电子束光刻(软EBL)图案化
机译:在无掩模微离子束减少光刻系统中演示电子图案切换和10倍图案缩小