...
机译:使用软电子束光刻技术(soft-eBL)在易碎基板上定向制备陶瓷纳米结构
机译:通过氮化硅薄膜和钽基板上的硅化物直写电子束光刻工艺(SiDWEL)来制造硅化物结构
机译:通过软电子束光刻(soft-eBL)“控制”纳米图案氧化物的内部微观结构
机译:用电子束光刻和离子束照射在Ge表面上的有序纳米结构的制造
机译:真空光刻技术用于使用精细聚焦离子束的纳米结构制造
机译:使用离子束近距离光刻技术制造环形纳米结构。
机译:通过提高精度的电子束光刻覆盖层来制造三维悬浮层间和分层纳米结构
机译:磁性和铁电氧化物的0-和1-D纳米结构的软电子束光刻(软EBL)图案化