Dept. of Materials Science and Engineering, MIT, Cambridge, MA 02139;
Dept. of Materials Science and Engineering, MIT, Cambridge, MA 02139;
Dept. of Materials Science and Engineering, MIT, Cambridge, MA 02139;
Dept. of Materials Science and Engineering, MIT, Cambridge, MA 02139;
Dept. of Materials Science and Engineering, MIT, Cambridge, MA 02139;
Charles Stark Draper Laboratories, Cambridge, MA 02139;
机译:高质量基于MEMS的硅基AlN薄膜
机译:用于硅基MEMS器件的稳定化压电厚膜的制造
机译:使用多孔硅基层转移工艺生产的高效薄膜晶体硅太阳能电池,提高外延箔的质量
机译:液相外延生长硅基多结太阳能电池用磷化镓外延膜
机译:硅基薄膜中固相外延生长的流固相互作用分析。
机译:硅基MEMS振荡器在体-扩展模式下的加速度敏感度
机译:用于MEMS印刷应用的外延PZT膜
机译:外延氮化镓薄膜与硅基器件的生长与集成。