MEMS Center,Harbin Institute of Technology,Harbin,Heilongjiang,China;
MEMS Center,Harbin Institute of Technology,Harbin,Heilongjiang,China;
MEMS Center,Harbin Institute of Technology,Harbin,Heilongjiang,China;
MEMS Center,Harbin Institute of Technology,Harbin,Heilongjiang,China;
Micromachined:Accelerometer:Quantization noise:Sigma-delta:system;
机译:用于力反馈微加工电容式加速度计的sigma-delta接口ASIC
机译:具有五阶sigma-delta调制器的高性能加速度计
机译:(111)硅晶片中的高性能双悬臂高冲击加速度计单面微加工。
机译:非理想四阶Σ-Δ微机械加速度计的系统设计
机译:高性能微机械隧道加速度计的设计,微制造和控制。
机译:基于隧穿磁阻效应的新型微机械Z轴扭转加速度计
机译:闭环微机械加速度计的四阶Sigma-Delta接口电路