大気圧プラズマを用いたキャリアガスの違いによる撥水性能の比較

摘要

表面処理は材料表面に薄膜を形成し、優れた特性の付与を目的とした技術である。代表的な処理方法として、材料表面に薄膜を物理的に生成するPVD と化学的に生成するCVD が挙げられる。これらの処理は真空装置と熱的処理を必要とするため、装置の小型化と熱的損傷を与えない新たな表面処理プロセスが求められる。大気圧プラズマは従来の低気圧プラズマと異なり、常温に近い温度でイオン、ラジカルを生成できる。これらの生成物によって化学反応を誘起されやすい状態となり、表面加工処理の分野では親水、撥水性を付与する技術を既に確立している。しかし、撥水加工に使用される薬剤はフッ素を含hでおり、人体、環境に悪影響を及ぼすため、別の薬剤による撥水性の付与が検討されている。本研究はシリコーン系撥水剤を混ぜ込hだガスを基に誘電体バリア放電を発生させ、撥水加工処理を行う。その時のキャリアガスをヘリウムとアルゴンの2種類の場合で撥水性能の比較を行った。