U字型超音波流量計の超音波伝搬解析

摘要

U字型超音波流量計は小径管路の微小流量を計測するのに適していることから半導体産業を中心に使用されている.先の研究により，この流量計内の流れをCFD解析により明らかにした.その解析結果を用いて流速分布と補正係数の関係について考察し，計測される流速は管路の中心付近の流速の影響を強く受けることがわかった.しかしながら，その要因についてはわかっていない.そこで本研究では流量計内の超音波の伝播解析を行った.その結果，測定管内における反射波の影響が非常に小さいため中心付近の流速の影響が強くなること，Re数の増加に伴い助走区間が長くなるため補正係数が変化することなど，流量と補正係数の関係を明快に説明することができた.