真空紫外光によるシリコーンのガラス化を利用したガラス製モスアイ構造の作製法

摘要

そこで本研究では，従来法と比較して高効率で低コスト，かつ自由曲面への作製が可能な手法として，シリコーンゴムを用いた光ナノインプリントと真空紫外光によるガラス化処理［17］を組み合わせる手法を提案し，平面ガラス上へモスアイ構造の作製とその分光特性の測定を行った。