residual stress; focused ion beam; stress release; digital image correlation; MEMS;
机译:MEMS结构中残余应力和梯度的解析提取及其在CMOS层材料中的应用
机译:残余应力对胶粘多层MEMS结构中波传播的影响
机译:X射线微衍射与发达的分析模型之间的相关性,该模型用于测量MEMS悬浮结构中的残余应力
机译:通过应力释放测量MEMS结构中的应力
机译:铝合金中残余应力和晶粒尺寸的声学测量(N.D.E.,厚度测量,声弹性)。
机译:玻璃上硅MEMS结构中热应力的测量和隔离
机译:全尺寸钢筋板结构中焊接诱导的双轴残余应力的直接测量,数值预测和简单公式估计