【24h】

Surface-micromachined resonant accelerometer

机译:表面微机械谐振加速度计

获取原文

摘要

This paper discusses the design and testing of a resonant accelerometer developed for integrated surface-micromachining processes. First- and second-generation designs are presented. The sensors use leverage mechanisms to transfer force from a proof mass to double-ended tuning fork (DETF) resonators used as force transducers. Each fork forms the basis of an integrated oscillator to provide the output waveforms. The DETFs on the first-generation device have a nominal frequency of 175 kHz, and the sensor has a scale factor of 2.4 Hz/g. The oscillators on this device exhibit a root Allan variance floor of 38 mHz (220 ppb). The second-generation, higher-sensitivity sensor uses DETFs with a nominal frequency of 68 kHz and has a measured scale factor of 45 Hz/g.
机译:本文讨论了为集成的表面微机械加工过程开发的共振加速度计的设计和测试。 提出了第一代和第二代设计。 传感器使用杠杆机制从验证质量转移到用作力传感器的双端调谐叉(DETF)谐振器。 每个叉子都构成了集成振荡器的基础,以提供输出波形。 第一代装置上的DEDFS具有175 kHz的标称频率,传感器的比例因子为2.4 Hz / g。 该器件上的振荡器展示了38 MHz的根艾伦方差地板(220ppb)。 第二代高灵敏度传感器使用标称频率为68 kHz的DETF,并且具有45Hz / g的测量比例。

著录项

相似文献

  • 外文文献
  • 中文文献
  • 专利
获取原文

客服邮箱:kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备:11010802029741号 ICP备案号:京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有
  • 客服微信

  • 服务号