nonlinear vibration; uncertainty analysis; sample-based stochastic model; experimental verification; MEMS resonant accelerometer;
机译:基于不确定性分析的电热激发MEMS谐振传感器非线性动力学研究
机译:使用FFT分析,基于自动振动补偿2D-PSD进行校准的非接触式振动谐波测量,使用MEMS加速度计
机译:用于低频振动检测的MEMS谐振加速度计
机译:微机械共振加速度计中的非线性振动研究
机译:用于雾化应用的基于MEMS的MHz超声喷嘴的振动分析。
机译:低G MEMS加速度计具有高灵敏度低非线性和基于3-DOF弱耦合谐振器的模式定位的大动态范围
机译:共振MEMS和NEMS传感器的非线性振动的计算和准分析模型