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Vibration-driven MEMS energy harvester with vacuum UV-charged vertical electrets

机译：振动驱动的MEMS能量收割机，具有真空紫外线带电垂直耐火

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来源
《International Conference on olid-State Sensors, Actuators and Microsystems》|2011年||共4页
会议地点
作者
Yamashita K.; Honzumi M.; Hagiwara K.; Iguchi Y.; Suzuki Y.;
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作者单位

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会议组织
原文格式 PDF
正文语种
中图分类 TB907;
关键词
KFM; MEMS generator; Parylene; Vacuum UV; Vertical electrets;

机译：KFM;MEMS发电机;聚对子;真空UV;垂直电器;

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