アルゴン／水素混合ガススパッタにより形成した酸化チタン薄膜の評価と結晶シリコン太陽電池n型エミッターへの応用

摘要

現在、最も普及している太陽電池は結晶シリコン系太陽電池であるが、高温プロセスが必要等作製プロセスに課題がある。本研究では優れた透過性を有し、n 型電導を持つ酸化チタン(TiO_2)をアルゴン水素混合ガススパッタにより作製することで導電性の向上を図り、比較的低温での形成が可能な結晶シリコン太陽電池のn 型エミッターとして応用することを目的としている。本発表ではスパッタガスへの水素混合による導電性の改善とその安定性について評価すると伴に、デバイスの応用に向けた検討を行った。