アルミニウムを利用したSiO_2の高速異方性化学エッチングの加工特性評価

摘要

近年、高速なエッチングを達成できることから金属利用した化学エッチング技術についての研究が進められている。例えば、Auを用いることでSiの高速なエッチングが可能である。Au直下のSiが選択的にエッチングされる。この化学エッチングによりSiのナノワイヤの作製など、精密な加工が達成されている。一方で、SiO_2のエッチングについては、これまでAlやTiを利用することによりSiO_2を高速なエッチングが達成されることを見出しているものの、その加工特性やメカニズムには不明な点が多い。また、化学エッチングにも関わらず SiO_2の異方性エッチングを達成できることも本技術の特徴であるが、未だその適用性は明らかとなっていない。SiO_2は、半導体デバイスやフォトニックデバイスなど様々なデバイス作製において有用な材料であり、この材料の高速で効率的な加工法は様々なデバイス分野への応用，展開が期待される。