2光子造形法による磁気駆動マイクロ歯車の設計·製作

摘要

マイクロマシンやマイクロアクチュエータは，製品へ高い付加価値を及ぼし，微小物体の精密操作にも有用であることから，医療，工業分野で需要が高まっている.それらを形成する微細加工技術の多くは平面工程の組合せのため，構造の設計自由度が低く，応用範囲を制限される.一方，光造形法のーつとして知られる2光子造形法は，3次元構造物を高い造形自由度とサブミクロンの露光分解能で形成できる.従来，これらの微細造形体は感光性樹脂や熱硬化性樹脂を母材とし，電気や磁気応答性などを有する機能性材料を導入することは困難であったが，近年，微細造形体への磁性マイクロ粒子の位置選択導入法と外部磁場による変形が報告されている.