X線CT画像の精度向上に関する研究－X線発生源の焦点移動がCT画像に与える影響

摘要

近年，機械デバイスや電子デバイスは様々な部品を複合した一体品として製造·出荷されている．その一方でこれらのデバイスの内部構造を非破壊で検査するために，三次元の形状情報を直接的に得ることが可能なマイクロフォーカスX 線CT の精度向上が求められている．微小なデバイスを精度よく撮影するためには，各撮影方向の積算回数を増やしたり，撮影方向数を増やすなど長時間の撮影が必要となる．しかし，CT 撮影が必要以上に長時間に渡ると，CT 画像の精度は逆に低下し，被写体がボケたように表現されることがある．本研究ではX 線CT 装置の長時間撮影によるボケに着目し，この現象が画像に与える影響を調べるとともに，その補正を行いX 線CT 画像の精度を向上させることを目的としている．