マルチフィジクスシミュレーションを用いたCMOS-MEMS加速度センサのためのゲイン制御センサ回路の検討

摘要

本研究では、CMOS-MEMS加速度センサのためのゲイン制御センサ回路を新たに提案した。MEMSとLSIの機械的および電気的挙動を同時に理解するために、マルチフィジクスシミュレーションを用いて加速度センサとセンサ回路の設計を行った。設計した回路を0.18μmCMOSプロセスを用いて作製し、その上にMEMS加速度センサを集積化した。作製したCMOS-MEMS加速度センサを実装後、加振機を用いて測定を行ったので報告する。