半導体ナノ粒子の合成に向けた粒径サイズ可変な大気圧プラズマリアクタの開発

摘要

医療現場等で用いられている殺菌ランプは主に水銀ランプが使用されているが、代替として新しい光源の開発が必要である。殺菌ランプには、波長250-280 nm の光を発すること、殺菌効率を高めるための大面積化が求められる。直接遷移型半導体であるGaN がUV-LED に利用されているが、バンドギャップ3.4 eV、発光波長は350 nm である。本研究では、GaN をナノ粒子化し電界放出ランプの蛍光体としてUV ランプに利用する手法に着目した。GaN はナノ粒子化することで量子サイズ効果によりバンドギャップすなわち発光波長が変化し、粒径5-50nm で波長275-354 nm の発光が可能となる。